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洁净室施工资料

dingweiyang 发表于: 2008-1-16 11:16 来源: 半导体技术天地

最新回复

hhnec at 2008-1-16 12:54:07

为什么有2个附件？是不是一样的？

stephenhe at 2008-1-16 13:57:23

谢谢楼主提供资料

dingweiyang at 2008-1-16 14:21:24

一样的，一激动手一抖多点了，大家点一个就行了

hhnec at 2008-1-16 21:29:35

无尘室隔间板

产品名称        PF隔间板
PU隔间板
不燃纸蜂巢隔间板
不燃铝蜂巢隔间板
防火岩棉隔间板

T-1 TYPE隔间系统

隔板厚度        50mm        40/50mm        40/50mm        40/50mm        40/50mm
隔间板最大长度        2500mm        7000mm        6000mm        6000mm        6000mm
天花板最大长度        2700mm        2700mm        2500mm        2500mm        2500mm
隔板宽度        900mm        900mm        900mm        900mm        900mm
隔板重量        13kg/m2        11.9kg/m2        10kg/m2        11kg/m2        15kg/m2
主要材质        表面材质        双面0.6mm烤漆镀锌钢板        0.6mm高张力钢板        0.6mm高张力钢板        0.6mm高张力钢板        0.6mm高张力钢板
                         0.6mm防静电钢板        0.6mm防静电钢板        0.6mm防静电钢板        0.6mm防静电钢板
                         0.6mm不锈钢钢板        0.6mm不锈钢钢板        0.6mm不锈钢钢板        0.6mm不锈钢钢板
        蕊材        硬质PF防火发泡酚醛        硬质PU发泡        不燃纸蜂巢        不燃铝蜂巢        高分子矿纤岩棉
内藏功能        可预埋电管        可预埋电管        可预埋电管        可预埋电管        可预埋电管
法规认证        台湾认证                 CNS 6532耐燃二级之法规        CNS 6532耐燃一级及二级之法规        CNS 6532耐燃一级及二级之法规        CNS 12514防火时效一小时
        大陆认证        符合GB8624 B1级要求                                    
        美国认证        Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Zero Outgassing : ASTM E595
Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Zero Outgassing : ASTM E595
Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794

隔间板不同密封方式︰
无尘室隔间系统，基于使用场合以及功能性的不同，分为T-1、T-2及T-3，三种TYPE。 T1-TYPE为隔间系统的基本型适用于所有的无尘室，以及库板型天花板系统，而 T2、T3 TYPE皆属于活动可拆式隔间系统，拆装方便，可单独任何一片拆装换修，不需使用硅胶气密施作为其最大特点，大部分被采用于高阶制程中之无尘室。

产品名称        T-1 TYPE        T-2 TYPE        T-3 TYPE
活动可拆式快速隔间系统

隔板厚度        50mm        50mm        50mm
隔间板最大长度        6000mm        6000mm        6000mm
隔板宽度        900mm        900mm        900/1200mm
主要材质        表面材质        0.6mm高张力钢板        0.6mm高张力钢板        0.6mm高张力钢板
                0.6mm防静电钢板        0.6mm防静电钢板        0.6mm防静电钢板
        蕊材        纸/铝/PU/岩棉        纸/铝/PU/岩棉        纸/铝/PU/岩棉
        连接方式        铔板框材固定        扣压式固定钢条        三件式宽边压条
        内藏功能        可预埋电管        可预埋电管        可预埋电管

T-1 TYPE:
本型式板材之间接缝处采用硅胶气密施作，由于无尘室有正压的因素，所以硅胶充填量宽度及深度要求必须在4㎜以上，才不致于在室内振压建立后产硅胶裂缝，本系列由于施作容易价廉，因此被最广泛的采用。
T-2 TYPE:
本型式采用平面气密压条，固定于板板间之接缝完成面与T-1 TYPE 相似，但是却易于拆装变更。
T-3 TYPE:
本型式采用三件式固定压条。

CEILING GRID 模块式天花板
A-TYPE系统
(BOX SYSTEM)

B-TYPE系统
(CROSS JOINT SYSTEM)

C-TYPE系统
(SIMPLE SYSTEM)


BAY PARTITION 系统隔间

1.        适用范围
2.        金属框架系统
3.        隔间系统
4.        门窗系统
5.        双面抗静电蜂巢板施工大样图
6.        单面封板施工大样图
________________________________________

一、适用范围
1-1、        class 1~class 1000之clean room如晶圆厂、TFT-LCD、DRAM，高阶封装测试‧‧‧
等之外围及内装隔间。

1-2、        制程 Layout区隔，需要经常及或可能变更、迁移、扩充，弹性修改组装之Clean　room内装。

1-3、        制程设备隔离墙，生产设备前后区之隔离或设备变动，MOVE IN需要便于拆解，交换、重组或搭配机台隔离之隔离墙。

二、金属框架系统（FRAME WORK）
2-1、        系统结构采用直角式连结组装工法，组合方便切割修改简易快速。

2-2、        主结构文件立柱及横柱GA-2001采用四方长条式螺牙设计，框架结构可依需求任意左，右、高、低、移动，加装或减少而不需攻牙或钻孔。

2-3、        天轨设计，预留20mm防震及防止CEILING GRID荷重后，下压产生挠度的伸缩空间，确保PARTITION，不受天花板移位或重压，牵动而移位导致机台震动或移位。

2-4、        地轨采用横向间距独立式地轨，每一支地轨都可以任意拆除，在机台MOVE IN或LAYOUT修改时，可以不受任何起始定点之限制。

2-5、        所有附属结构框架全部采用嵌合式设计，不须缧丝固定即可拆装。

2-6、        全系统采用单一规格固定片及缧丝，组装工具只须一支六角扳手，不须专业人员使用者便可自行轻易拆解组装。

2-7、        设计上已经考虑结构强度的需求，使得有大型机台之隔离需求时，墙面开口不受限制，没有工法及安全上的顾虑。

2-8、        机台隔离图例 1. 机台设备


三、隔间面系统
3-1、        墙板系统可依须求采用单面封板及双面封板两种不工法。

3-2、        单面封板可选用：
A. 1.2mm抗静电烤漆镀锌钢板。
B. 5mm双面抗静电铝蜂巢板。
C. 5mm抗静电纸蜂巢板。

3-3、        双面封板可选用：
A. 1.2mm抗静电烤漆镀锌钢板。
B. 46mm双面抗静电铝蜂巢板。
C. 46mm抗静电纸蜂巢板。

3-4、        Clean room外围隔间及非机台隔离区，不须经常拆装、修改之隔间墙，可弹性采用 T-3 TYPE 隔间系统，施作简便快速。
       
       
四、门窗系统
4-1、        气密门可采用标准型气密门或T-2000型气密门。

4-2、        电动门可采用标准型电动门或T-2000型电动门。

4-3、        电动门标准配备：
1.        门机动力.110V/220V.40W
2.        铝合机箱轨道机机箱盖
3.        开关门定位减速装置
4.        红外线感应器、V型皮带、窗口
5.        门扇采用隔间板同材质及同色钢板门扉
4-4、        电动门选择配备(可依需求选备)：
1.        电眼防夹装置
2.        无线压扣开关
3.        电磁锁
4.        刷卡门禁系统
4-5、        窗口：

可依需求采用下例各种产品
A.        3mm抗静电DC-PLATE PVC板。
B.        5mm抗静电DC-PLATE PVC板。
C.        5mm抗静电强化玻璃。
D.        5mm抗静电黄光玻璃。

五、双面抗静电蜂巢板施工大样图
5-1、        双面抗静电蜂巢板封板剖面图
         
1. C/G T-BAR
2. 外天轨 GA2004
3. 双面抗静电 铝蜂巢/纸蜂巢
4. 窗口
5. 双面抗静电 铝蜂巢/纸蜂巢
6. C/G T-BAR
7. 外天轨 GA2004
8. 双面抗静电 铝蜂巢/纸蜂巢
9. 双面抗静电 铝蜂巢/纸蜂巢
10. N005基座水平调整片
11. 高架地板
       
5-2、        双面抗静蜂巢板转角及三方转角断面图


三方转角        转角         

       

1. 双面抗静电 铝蜂巢/纸蜂巢
2. 转角中柱 GA2002
3. 双面抗静电 铝蜂巢/纸蜂巢
六、单面封板施工大样图
6-1、        单面封板剖面图
         
1. C/G T-BAR
2. 外天轨 GA2004
3. 5mm抗静电蜂巢板
4. 窗口
5. 中柱 GA2001
6. 5mm抗静电蜂巢板钢板
7. C/G T-BAR
8. 外天轨 GA2004
9. 5mm抗静电蜂巢板钢板
10. 中柱 GA2001
11. 5mm抗静电蜂巢板钢板
12. 高架地板

Andyboy at 2008-1-16 22:26:00

your data is very useful
thanks

mimifay at 2008-1-17 08:52:09

感谢楼主,资料真及时

sunxueyun at 2008-1-17 08:58:20

看帖回复，已经下了

climbfeng at 2008-1-17 10:11:02

谢谢，学习了，正在建净化间

ky1379 at 2008-1-23 14:15:35

谢谢楼主的好东西。

fancongming at 2008-2-20 14:57:06

学习了，谢谢楼主的好东西。

fancongming at 2008-2-20 15:02:38

谢谢楼主提供资料,资料真及时

sunhc83 at 2008-2-21 13:53:55

呵呵，都被斑竹写出来了，不用花金币了！

yx298298 at 2008-2-24 10:24:39

谢谢楼主的资料 .这是学习的开始!

kcdzg at 2008-3-18 11:11:58

什么是防静电地板

leonnqiann at 2008-3-22 11:18:23

赶快要获得分数，不然没办法下载亚

mzp33333 at 2008-3-22 22:29:57

真是好东西,谢谢分享,

lzcq2003 at 2008-3-26 21:40:01

收藏了，谢谢楼主！顶起来

dalitech at 2008-5-04 23:24:08

真是好东西,谢谢分享

zhihui0811 at 2008-5-13 10:39:36

谢谢楼主的好东西。顶起来

royan at 2008-6-17 17:09:32

無塵室隔間版

產品名稱        PF隔間板
PU隔間板
不燃紙蜂巢隔間板
不燃鋁蜂巢隔間板
防火岩棉隔間板

T-1 TYPE隔間系統         





隔板厚度        50mm        40/50mm        40/50mm        40/50mm        40/50mm
隔間板最大長度        2500mm        7000mm        6000mm        6000mm        6000mm
天花板最大長度        2700mm        2700mm        2500mm        2500mm        2500mm
隔板寬度        900mm        900mm        900mm        900mm        900mm
隔板重量        13kg/m2        11.9kg/m2        10kg/m2        11kg/m2        15kg/m2
主要材質        表面材質        雙面0.6mm烤漆鍍鋅鋼板        0.6mm高張力鋼板        0.6mm高張力鋼板        0.6mm高張力鋼板        0.6mm高張力鋼板
                         0.6mm防靜電鋼板        0.6mm防靜電鋼板        0.6mm防靜電鋼板        0.6mm防靜電鋼板
                         0.6mm不鏽鋼鋼板        0.6mm不鏽鋼鋼板        0.6mm不鏽鋼鋼板        0.6mm不鏽鋼鋼板
        蕊材        硬質PF防火發泡酚醛        硬質PU發泡        不燃紙蜂巢        不燃鋁蜂巢        高分子礦纖岩棉
內藏功能        可預埋電管        可預埋電管        可預埋電管        可預埋電管        可預埋電管
法規認證        台灣認證                 CNS 6532耐燃二級之法規        CNS 6532耐燃一級及二級之法規        CNS 6532耐燃一級及二級之法規        CNS 12514防火時效一小時
        大陸認證        符合GB8624 B1級要求                                    
        美國認證        Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Zero Outgassing : ASTM E595
Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Zero Outgassing : ASTM E595
Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794        Tape Adhesion :ASTM D3395
Taper Abrasion : ASTM D4060
Conical Mandrel : ASTM D522
Impact : ASTM D2794


隔間板不同密封方式︰
無塵室隔間系統，基於使用場合以及功能性的不同，分為T-1、T-2及T-3，三種TYPE。 T1-TYPE為隔間系統的基本型適用於所有的無塵室，以及庫板型天花板系統，而 T2、T3 TYPE皆屬於活動可拆式隔間系統，拆裝方便，可單獨任何一片拆裝換修，不需使用矽膠氣密施作為其最大特點，大部分被採用於高階製程中之無塵室。


產品名稱        T-1 TYPE        T-2 TYPE        T-3 TYPE
活動可拆式快速隔間系統         



隔板厚度        50mm        50mm        50mm
隔間板最大長度        6000mm        6000mm        6000mm
隔板寬度        900mm        900mm        900/1200mm
主要材質        表面材質        0.6mm高張力鋼板        0.6mm高張力鋼板        0.6mm高張力鋼板
                0.6mm防靜電鋼板        0.6mm防靜電鋼板        0.6mm防靜電鋼板
        蕊材        紙/鋁/PU/岩棉        紙/鋁/PU/岩棉        紙/鋁/PU/岩棉
        連接方式        錏板框材固定        扣壓式固定鋼條        三件式寬邊壓條
        內藏功能        可預埋電管        可預埋電管        可預埋電管

T-1 TYPE:
本型式板材之間接縫處採用矽膠氣密施作，由於無塵室有正壓的因素，所以矽膠充填量寬度及深度要求必須在4㎜以上，才不致於在室內振壓建立後產矽膠裂縫，本系列由於施作容易價廉，因此被最廣泛的採用。
T-2 TYPE:
本型式採用平面氣密壓條，固定於板板間之接縫完成面與T-1 TYPE 相似，但是卻易於拆裝變更。
T-3 TYPE:
本型式採用三件式固定壓條。


CEILING GRID 模組式天花板
A-TYPE系統
(BOX SYSTEM)





B-TYPE系統
(CROSS JOINT SYSTEM)





C-TYPE系統
(SIMPLE SYSTEM)









BAY PARTITION 系統隔間


1.        適用範圍
2.        金屬框架系統
3.        隔間系統
4.        門窗系統
5.        雙面抗靜電蜂巢板施工大樣圖
6.        單面封板施工大樣圖


________________________________________

一、適用範圍
1-1、        class 1~class 1000之clean room如晶圓廠、TFT-LCD、DRAM，高階封裝測試‧‧‧
等之外圍及內裝隔間。

1-2、        製程 Layout區隔，需要經常及或可能變更、遷移、擴充，彈性修改組裝之Clean　room內裝。

1-3、        製程設備隔離牆，生產設備前後區之隔離或設備變動，MOVE IN需要便於拆解，交換、重組或搭配機台隔離之隔離牆。

二、金屬框架系統（FRAME WORK）
2-1、        系統結構採用直角式連結組裝工法，組合方便切割修改簡易快速。

2-2、        主結構文件立柱及橫柱GA-2001採用四方長條式螺牙設計，框架結構可依需求任意左，右、高、低、移動，加裝或減少而不需攻牙或鑽孔。

2-3、        天軌設計，預留20mm防震及防止CEILING GRID荷重後，下壓產生撓度的伸縮空間，確保PARTITION，不受天花板移位或重壓，牽動而移位導致機台震動或移位。

2-4、        地軌採用橫向間距獨立式地軌，每一支地軌都可以任意拆除，在機台MOVE IN或LAYOUT修改時，可以不受任何起始定點之限制。

2-5、        所有附屬結構框架全部採用嵌合式設計，不須縲絲固定即可拆裝。

2-6、        全系統採用單一規格固定片及縲絲，組裝工具只須一支六角扳手，不須專業人員使用者便可自行輕易拆解組裝。

2-7、        設計上已經考量結構強度的需求，使得有大型機台之隔離需求時，牆面開口不受限制，沒有工法及安全上的顧慮。

2-8、        機台隔離圖例 1. 機台設備


三、隔間面系統
3-1、        牆板系統可依須求採用單面封板及雙面封板兩種不工法。

3-2、        單面封板可選用：
A. 1.2mm抗靜電烤漆鍍鋅鋼板。
B. 5mm雙面抗靜電鋁蜂巢板。
C. 5mm抗靜電紙蜂巢板。

3-3、        雙面封板可選用：
A. 1.2mm抗靜電烤漆鍍鋅鋼板。
B. 46mm雙面抗靜電鋁蜂巢板。
C. 46mm抗靜電紙蜂巢板。

3-4、        Clean room外圍隔間及非機台隔離區，不須經常拆裝、修改之隔間牆，可彈性採用 T-3 TYPE 隔間系統，施作簡便快速。

       
       
四、門窗系統
4-1、        氣密門可採用標準型氣密門或T-2000型氣密門。

4-2、        電動門可採用標準型電動門或T-2000型電動門。

4-3、        電動門標準配備：
1.        門機動力.110V/220V.40W
2.        鋁合機箱軌道機機箱蓋
3.        開關門定位減速裝置
4.        紅外線感應器、V型皮帶、視窗
5.        門扇採用隔間板同材質及同色鋼板門扉
4-4、        電動門選擇配備(可依需求選備)：
1.        電眼防夾裝置
2.        無線壓扣開關
3.        電磁鎖
4.        刷卡門禁系統
4-5、        視窗：

可依需求採用下例各種產品
A.        3mm抗靜電DC-PLATE PVC板。
B.        5mm抗靜電DC-PLATE PVC板。
C.        5mm抗靜電強化玻璃。
D.        5mm抗靜電黃光玻璃。

五、雙面抗靜電蜂巢板施工大樣圖
5-1、        雙面抗靜電蜂巢板封板剖面圖
         
1. C/G T-BAR
2. 外天軌 GA2004
3. 雙面抗靜電 鋁蜂巢/紙蜂巢
4. 視窗
5. 雙面抗靜電 鋁蜂巢/紙蜂巢
6. C/G T-BAR
7. 外天軌 GA2004
8. 雙面抗靜電 鋁蜂巢/紙蜂巢
9. 雙面抗靜電 鋁蜂巢/紙蜂巢
10. N005基座水平調整片
11. 高架地板
       
5-2、        雙面抗靜蜂巢板轉角及三方轉角斷面圖
       




三方轉角        轉角         

       

1. 雙面抗靜電 鋁蜂巢/紙蜂巢
2. 轉角中柱 GA2002
3. 雙面抗靜電 鋁蜂巢/紙蜂巢
六、單面封板施工大樣圖
6-1、        單面封板剖面圖
         
1. C/G T-BAR
2. 外天軌 GA2004
3. 5mm抗靜電蜂巢板
4. 視窗
5. 中柱 GA2001
6. 5mm抗靜電蜂巢板鋼板
7. C/G T-BAR
8. 外天軌 GA2004
9. 5mm抗靜電蜂巢板鋼板
10. 中柱 GA2001
11. 5mm抗靜電蜂巢板鋼板
12. 高架地板